mobile365sb微系统工程系成立于2008年，目前已经成为西北工业大学微机电系统与纳米技术方面博士、硕士研究生以及本科生培养的重要基地，具有较强的研究开发与人才培养实力。

微系统工程系共有教职员工14人，其中长江学者1人，教育部新世纪优秀人才2人，教授4人，副教授5人，讲师3人，工程师2人。

依托微系统工程系建设发展了“机械电子工程”国家重点学科、“微机电系统及纳米技术”新兴交叉学科及国防重点学科。后者是机械工程联合仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程等多个一学科建立起的有博士授予权的新兴交叉学科，是西工大“十五”、“十一五”重点建设学科，国家“985工程”重点建设项目，并且入选教育部“985工程”建设十年典型案例。此外，微系统工程系还拥有仪器科学与技术一级学科博士点、机械工程一级学科博士点等。

微系统工程系已建成“空天微纳系统教育部重点实验室”、“陕西省微/纳米系统重点实验室”和“西北工业大学微/纳米系统研究中心”，具备国内一流、国际先进的实验条件。实验室已经完成“985工程”一期、二期和“211工程”建设，正在进行“985工程”三期建设，设备资产超过3000万元，实验室面积3200平米（其中净化室面积900平米），形成了一条四英寸微加工工艺线，能够实现硅表面加工、湿法体硅加工、ICP深刻蚀、聚合物基微加工等多种典型工艺，是国内少有的面向全国开放的微纳制造和研发平台之一。已经为国内几十家单位提供了微纳加工及相关器件研发支持。

微系统工程系已经在航空航天微纳系统方面进行了大量的基础和工程应用研究，在典型航空航天微器件系统、MEMS集成设计研究方面处于国内领先、国际先进水平。近年来，主持完成了国家自然科学基金12项（含重大专项项目2项），国防基础研究计划项目6项，国防863项目2项，民口863项目7项，武器装备重点创新基金1项，省部委基金18项，境外合作项目3项，总经费超过2800万元。在研究成果方面，获得国家技术发明二等奖2项、省部级一等奖3项、二等奖3项，申请了国家发明专利97项，已授权41项，出版学术专著及教材5部。在国内外重要学术刊物上发表论文250余篇，SCI、EI收录120篇，包括在本领域顶级学术期刊Journal ofMicroelectromechanical systems（影响因子3.335）上发表4篇学术论文，占中国大陆学者在其上发表学术论文数的近1/6。出版的系统、全面介绍微机电系统研究的专著“微机械与微细加工技术”被教育部选为研究生推荐教材，并在台湾地区发行。

微系统工程系与美国加州理工学院、德国弗莱堡大学、法国斯特拉斯堡大学、英国南安普顿大学、欧洲空客公司等建立了良好学术合作关系。国际知名微纳系统专家，如美国工程院院士加州大学洛杉矶分校的Chih-Ming Ho教授、英国皇家工程院院士英国帝国理工大学的Richard Syms教授、德国弗莱堡大学微系统中心的Hans Zappe教授、法国巴黎高师的Yong Chen教授、美国加州理工学院的Yu-Chong Tai教授、英国南开普敦大学的Michael Kraft教授、德国萨尔大学Helmut Seidel教授等都曾开展学术交流与合作研究。

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