西北工业大学“微/纳米系统实验室”成立于1992年，是国内较早开展微机电系统（MEMS）研究的单位之一。实验室以微机电系统技术为核心，以纳机电系统（NEMS）技术为深入方向，以面向航空、航天、航海及国家重大需求的微纳系统及相关技术研究为重点和特色。目前，实验室是面向全国开放的微机电系统研究和人才培养的重要基地，具备国内一流、国际先进研究条件，在微机电系统设计、制造、自主研发方面有雄厚实力。拥有一整套四英寸硅基微加工线，形成了支持硅表面加工、湿法体硅加工、高深宽比干法刻蚀、聚合物基等工艺的微制造平台，拥有自主知识产权的MEMS集成设计平台，拥有光刻机、ICP深刻机、LPCVD、溅射仪、RIE、晶片减薄抛光系统、圆片键合机、扩散炉、划片机、三维表面轮廓仪、探针台、激光多普勒测振仪、动态信号分析仪等贵重微加工及精密检测设备等。

实验室主要研究方向包括航空航天微机电系统技术、微纳器件设计制造技术、微纳功能结构技术等。主持承担了一系列国家重要科研项目，在面向三航的典型应用微系统、MEMS集成设计等方向上达到国内领先、国际先进水平。在国际重要学术期刊及重要学术会议上发表论文近200篇，其中包括IEEE ASME Journal of MEMS、Journal of Micromechanics and Microengineering期刊论文以及IEEE MEMS年会论文等。出版专著、教材5部。获国家技术发明二等奖2项，省部级科技成果奖十余项。实验室积极开展学术交流与合作，除了与我国航空、航天、船舶、兵器、电子等国内诸多骨干单位建有密切协作关系外，还与美国加州理工大学、加州大学伯克利分校、德国弗莱堡大学、法国斯特拉斯堡大学、英国南安普敦大学等建有良好学术合作关系。

实验室负责人简介：

苑伟政生于1961年，西北工业大学教授，博士生导师，机电学院院长，教育部“长江学者”特聘教授。并兼任中国微/纳米技术学会常务理事、中国仪器仪表学会微/纳器件与系统技术分会副理事长、中国机械工程学会理事及微/纳制造技术分会委员、生产工程分会委员等，《机械工程学报》、《传感技术学报》、《纳米科技》等学术期刊编委。

主要从事微机电系统以及微纳制造方面的研究，留法回国后主持创建了“微机电系统与纳米技术”国防重点学科和“陕西省微/纳米系统重点实验室”，“空天微/纳系统教育部重点实验室”。现为“机械电子工程”国家重点学科带头人，机械工程一级学科负责人。

在国内率先开展了MEMS集成设计、MEMS灵巧蒙皮、微机械准分子激光微细加工技术等前沿研究，并在微能源、微惯性器件以及微光学系统等方面形成了研究特色。主持国家自然科学基金项目、863计划重点项目以及国防基础研究计划重点项目等30余项。

获国家技术发明二等奖2项、省部级科技一等奖3项，获授权发明专利32项。出版专著2部，教材3部，其中《微机械与微细加工技术》被评为教育部研究生推荐教材。在国内外学术刊物上发表论文150余篇,被SCI索引40篇，EI索引102篇，是Sensor and Actuator A、IEEE Sensor等国际著名学术刊物的审稿人，担任IEEE NEMS，ASME Nano and Micro System，APCOT等著名国际会议的技术程序委员会委员，以及国际会议ICMAN的大会主席、IMCC等分会主席。已培养毕业博士中2人入选教育部新世纪优秀人才培养计划，1人获世界著名的“洪堡学者”基金。

联系人：乔大勇，邓进军 联系电话：029-88460547，88460353-8072

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